《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》雜志查重率過高通常很難過審，論文的重復率是一個重要的考量因素，不同的期刊要求不一樣，通常來說，SCI論文查重率一般建議低于15%或者20%以下，投稿都比較安全。總的來說，保持論文的原創性和獨特性是關鍵。

該雜志是國際知名的學術出版物，對論文的原創性和學術質量有著極高的要求。查重率過高往往被視為學術不端行為的一種表現，如抄襲或過度引用他人成果，這嚴重違反了學術誠信原則。

如果查重率過高，常會采取以下措施：

1、直接拒稿：對于查重率明顯超標的論文，SCI期刊往往會直接拒絕接受其發表。這是為了保護學術界的原創性和誠信，避免抄襲等學術不端行為的傳播。

2、要求修改并重審：在某些情況下，如果論文的查重率雖然較高，但其中存在合理的引用和解釋，期刊編輯部可能會要求作者進行修改并重審。然而，這種情況相對較少，且修改后的論文仍需滿足期刊的原創性要求。

因此，投稿前最好使用專業查重工具檢測并優化重復內容。

《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》雜志（ISSN: 2166-2746，ESSN：2166-2754）是一本專注于Materials Science - Materials Chemistry的國際SCI期刊，由AVS Science and Technology Society出版，

該雜志主要發表由領域內專家撰寫的短篇文章，旨在以簡明易懂的方式呈現工程：電子與電氣的最新研究進展，特別適合尚未深入該領域的科研人員閱讀。

CiteScore為2.7，(CiteScore排名為大類：Engineering，小類：Electrical and Electronic Engineering，分區：Q3，排名：448 / 797，百分位：43%； 大類：Engineering，小類：Materials Chemistry，分區：Q3，排名：192 / 317，百分位：39%； 大類：Engineering，小類：Instrumentation，分區：Q3，排名：86 / 141，百分位：39%； 大類：Engineering，小類：Surfaces, Coatings and Films，分區：Q3，排名：82 / 132，百分位：38%； 大類：Engineering，小類：Electronic, Optical and Magnetic Materials，分區：Q3，排名：178 / 284，百分位：37%； 大類：Engineering，小類：Process Chemistry and Technology，分區：Q3，排名：47 / 73，百分位：36%； )

《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》雜志是一本歷史悠久、聲譽良好的工程技術期刊，以其高質量、易讀性和前沿性在學術界占據重要地位。