摘要：對國內近十年來硼擴散技術的進展進行了介紹,引用不同科研人員的研究成果說明以下結論:采用旋涂SiO2納米漿料作為硼源,能夠改善太陽能電池片擴散區域方塊電阻的均勻性,粒徑越小,均勻性越好;改善管內進氣方式,增大硼源進氣口距離太陽能電池片的距離,能夠改善太陽能電池片擴散區域方塊電阻的均勻性;在BBr3液態源高溫擴散過程中引入二氯乙烯,能夠提高硼擴散的片內均勻性和片間均勻性。