摘要：微零件的姿態測量對微裝配具有重要的作用.但對于微球零件,其姿態的精確測量存在困難,影響了裝配精度.針對帶有微孔的微球,本文提出了一種基于單目顯微視覺的微球姿態高精度測量方法.設計了一種由粗到精的微孔檢測算法,實現了高精度的微孔定位.通過對相機光軸方向的標定,在相機運動后對微球圖像坐標進行補償,提高了在相機坐標系下的微球定位精度.通過對微球和微孔的精確定位,計算出微球球心與微孔圓心的空間相對位置,實現了相機坐標系下高精度的微球姿態測量.同時,根據標定出的相機坐標系與調整平臺坐標系之間的旋轉關系,將微球姿態轉換到調整平臺坐標系.實驗結果表明,最大姿態測量誤差0.3度,驗證了本文方法的有效性.