摘要：在微細鉆銑刀具上進行涂層制備是有效提高微切削質量與加工效率的方法。金剛石涂層、類金剛石涂層和過渡族金屬碳/氮化物涂層在微細鉆銑刀具上得到了廣泛應用,而應用于傳統大直徑刀具上的硼化物涂層、氧化物涂層等,在微細鉆銑刀具上的應用仍處于開發階段。刀具表面涂層制備技術主要有物理氣相沉積技術、化學氣相沉積技術和原子層沉積技術。本文從微細鉆銑刀具出發,綜述了各種制備方法的特點,介紹了近年來在刀具前處理、涂層晶粒直徑、沉積參數控制及刀具夾具設計等關鍵技術點上的研究進展,對微細鉆銑刀具表面涂層的制備具有指導意義。伴隨著微細鉆銑刀具涂層制備技術的優化更新,涂層材料和涂層結構的不斷發展,使得刀具涂層的最高硬度和使用溫度不斷提高。