摘要：該文對(duì)采用鈀鎳薄膜作為敏感膜的聲表面波氫氣傳感器開(kāi)展研究,以實(shí)現(xiàn)快速的氫氣檢測(cè)。傳感器采用雙通道差分振蕩器結(jié)構(gòu),其中在傳感通道器件聲表面波傳播路徑上以磁控濺射法沉積鈀鎳薄膜,通過(guò)鈀鎳薄膜對(duì)氫氣的快速和可逆物理吸附引起聲表面波傳播速度的變化,進(jìn)而以差分振蕩器頻率信號(hào)來(lái)表征待測(cè)氫氣濃度。通過(guò)傳感實(shí)驗(yàn)以確定獲得快速響應(yīng)的鈀鎳的優(yōu)化厚度。結(jié)果表明,在鈀鎳厚為40nm時(shí),傳感器獲得的響應(yīng)幅度與響應(yīng)速度分別達(dá)5kHz和5s。