基于ScAlN/FeGa結構的磁電聲表面波諧振器
作者：姜建利; 楊雪梅; 劉婉; 白飛明 電子科技大學電子薄膜與集成器件國家重點實驗室; 四川成都610054
摘要：該文研究基于磁致伸縮FeGa合金襯底的磁電聲表面波(SAW)諧振器。首先,在FeGa磁致伸縮襯底上濺射沉積了ScAlN壓電薄膜,完成了單端口聲表面波諧振器的制備;其次,采用X線衍射儀(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)、原子力顯微鏡(AFM)等手段對ScAlN薄膜進行結構分析;最后,采用矢量網絡分析儀和微波探針臺測試S參數和群時延。結果表明,ScAlN薄膜晶粒呈柱狀生長且具有高度(002)取向,薄膜表面粗糙度在2.36nm左右;當ScAlN壓電薄膜厚為0.7μm,波長為15.74μm時,SAW諧振器的諧振頻率為218.75MHz,相速度為3443m/s,機電耦合系數為0.06%,與COMSOL仿真計算結果較吻合。
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壓電與聲光雜志
壓電與聲光雜志， 雙月刊，本刊重視學術導向，堅持科學性、學術性、先進性、創新性，刊載內容涉及的欄目：聲表面波技術、聲光與光纖技術、壓電及其他功能器件、單晶、薄膜及其他功能材料、實驗技術與測試方法。等。于1979年經新聞總署批準的正規刊物。
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