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摘要：采用垂直掃描系統是離子注入機最常用的掃描方式之一,著重闡述了一種大行程垂直掃描系統的系統構成、設計思路和實現方法。經過實際使用證明,該系統提高了離子注入機機械掃描的可靠性和穩定性。
注：因版權方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社。
微細加工技術雜志， 雙月刊，本刊重視學術導向，堅持科學性、學術性、先進性、創新性，刊載內容涉及的欄目：綜述、電子束技術、離子束技術、光子束技術、薄膜技術、微機械加工技術、納米技術等。于1983年經新聞總署批準的正規刊物。
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