摘要：根據激光光線聚焦狀態不同對應被測面上激光光斑形狀不同的特點,通過引入輔助激光束,分析了調焦CCD采集的激光光斑圖像信息,進而根據光斑形狀及半徑等信息確定被測面對焦狀態。針對實驗中每隔相同離焦距離采集的一系列光斑圖像,提出了相應的圖像處理方案,以提取所需光斑半徑信息,進而進行光斑半徑與離焦量轉換。實驗結果表明,光斑半徑與離焦量呈線性關系,最大線性范圍靈敏度為2.342像素/μm,最高可實現0.43μm分辨率。