激光聚變靶丸內(nèi)表面輪廓測量系統(tǒng)的研制
作者：趙維謙; 王龍肖; 邱麗榮; 王允; 馬仙仙 北京理工大學(xué)光電學(xué)院精密光電測試儀器及技術(shù)北京市重點實驗室; 北京100081
摘要：針對激光聚變靶丸內(nèi)表面輪廓高精度無損測量的迫切需求,研制了一套激光聚變靶丸內(nèi)表面輪廓測量系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過最小二乘算法(LSC)計算出靶丸回轉(zhuǎn)偏心量,并利用偏心調(diào)整臺對靶丸偏心進行自動快速調(diào)整;然后,系統(tǒng)軟件控制氣浮回轉(zhuǎn)軸承驅(qū)動靶丸旋轉(zhuǎn),利用激光差動共焦傳感器(LDCS)軸向響應(yīng)曲線過零點及光線追跡算法精確計算出靶丸內(nèi)表面輪廓上每個采樣點的幾何位置;最后,對靶丸內(nèi)輪廓測量數(shù)據(jù)進行LSC評定得到其圓度信息。實驗證明,靶丸回轉(zhuǎn)偏心的自動調(diào)整時間可達22s,當(dāng)采樣點分別為1 024,2 048及4 096時,靶丸內(nèi)輪廓測量時間分別可達10,20及40s,且圓度測量標(biāo)準(zhǔn)差可達19nm(1 024點)。該系統(tǒng)實現(xiàn)了靶丸回轉(zhuǎn)偏心的自動快速調(diào)整及其內(nèi)輪廓的高精度、無損、快速、自動測量。
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光學(xué)精密工程雜志
光學(xué)精密工程雜志， 月刊，本刊重視學(xué)術(shù)導(dǎo)向，堅持科學(xué)性、學(xué)術(shù)性、先進性、創(chuàng)新性，刊載內(nèi)容涉及的欄目：現(xiàn)代應(yīng)用光學(xué)、微納技術(shù)與精密機械、信息科學(xué)等。于1959年經(jīng)新聞總署批準(zhǔn)的正規(guī)刊物。
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