摘要：基于SOI的光學微環諧振腔具備低功耗、高集成、高靈敏等特點而被廣泛應用于光互連、光通信和光信息傳輸等很多方面,本文利用耦合模理論,微環諧振理論和熱光調制理論,提出了一種可以同時達到反射率可調、帶寬可調和波長可調的微環反射腔鏡,波長選擇在1 550 nm附近,微環半徑設置為10μm,硅波導尺寸選擇220 nm的條波導,波導寬度為450 nm。利用轉移矩陣方法和matlab仿真軟件計算并仿真討論了輸出光譜與耦合系數k等參數的變化關系。仿真結果證明,該器件反射率變化為15%到100%(在無損耗的情況下),帶寬調諧范圍為0.25 nm~0.95 nm,通過在微環上加熱電極可以實現一個FSR(自由光譜范圍)范圍波長的調諧。該器件在高速光網絡傳輸、光增益譜均衡和信道選擇方面有著重要應用。