摘要：點缺陷構成的微腔對THz波調制器的性能起著決定性的作用，而在實際制作加工過程中，由于工藝的原因，光子晶體的結構參量會產生偏差，難以制備出孔徑毫無偏差的光子晶體，且介質柱的放置位置不能達到完全精確，因此光子晶體器件的性能也因此會受到一定程度的影響。文中重點討論了點缺陷介質柱的半徑變化對直接耦合結構的THz波調制器性能的影響，為光子晶體調制器的實際制作和相應的誤差分析提供了理論幫助。