基于LTCC技術的加速度計制造方法
作者：唐小平; 盧會湘; 嚴英占 中華華通河北分公司; 石家莊050081; 中國電子科技集團公司第五十四研究所; 石家莊050081
摘要：低溫共燒陶瓷(LTCC)技術是實現電子設備小型化、高密度集成化的主流技術手段,可適用于耐高溫、耐受惡劣環境下的特性要求。介紹了LTCC差分電容式加速度計結構,敏感質量塊和4根懸臂梁結構都內嵌于LTCC多層基板,質量塊和上下電容板之間通過印刷電極組成差分電容對。重點討論了微機械式LTCC基加速度計的工藝制造方法及其面臨的工藝問題,實現了多款內埋質量塊結構的LTCC電容式加速度計制造。
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電子與封裝雜志
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