退火溫度對溶膠-凝膠法制備的AZO薄膜性能影響的研究
作者：趙婷婷; 薛劍鳴; 王威; 郝凌云; 陳相均; 張昕曜; 支國偉 金陵科技學院; 材料工程學院; 南京211169; 南京科潤工業介質股份有限公司; 南京211106
摘要：以溶膠-凝膠法制備Al摻雜的ZnO(AZO)薄膜。為了提高薄膜的結晶性,在氬氣氣氛中將所制備的薄膜分別在400℃、500℃和550℃溫度下退火處理,研究不同退火溫度對薄膜樣品形貌和性能的影響。結果表明,所制備的AZO薄膜為六角纖鋅礦結構,有很明顯的c軸擇優取向;隨著退火溫度增加,薄膜的結晶性與電導率均先增加后減小,其在可見光區域的平均透過率約為85%。當退火溫度為500℃時,制備的AZO薄膜性能最佳,其品質因素可以達到2051.04Ω^-1·cm^-1。
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