絲網印刷法制備極限電流氧傳感器擴散孔的研究
作者：程楚; 王金霞; 簡家文; 鄒杰 寧波大學信息科學與工程學院; 浙江寧波315211; 寧波工程學院; 浙江寧波315211
摘要：為了研究采用絲網印刷法制備的小孔擴散障對極限電流氧傳感器的影響,采用流延法制備8%molY2O3穩定ZrO2(8YSZ)膜片;通過絲網印制法制備了敏感電極和擴散障,最后通過共燒獲得小孔擴散障型極限電流氧傳感器。利用掃描電鏡(SEM)等手段對氧傳感器進行物理結構的表征,發現通過絲網印刷獲得的傳感器擴散障結構良好,多層對位效果良好。通過計算驗證了8YSZ電導率能產生足夠大的泵氧電流。進一步對傳感器的氣敏特性進行測試,發現傳感器具有一定的飽和平臺,工作溫度對極限電流具有一定的影響,同時發現極限電流與氧氣濃度存在正常擴散模型的線性關系。
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傳感器與微系統雜志
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